近日，日本电子推出无磁场原子分辨率电子显微镜JEM-Z200MF，这是一种先进的扫描/透射电子显微镜（S/TEM），可在无磁场环境中实现原子级分辨率成像。MARS（无磁场原子级分辨率成像系统）可实现在不向样品施加强磁场的情况下进行高分辨率观察。这种方法有望成为一项突破性的工具，将极大地推动磁体、钢铁、半导体器件和量子技术等领域的尖端材料研究和开发。

特点

| 无磁场物镜（Magnetic Field-Free Objective Lens）

JEM-Z200MF的物镜由位于样品上方和下方的两个透镜（前置物镜FOL和后置物镜BOL）组成。这两个透镜在样品平面上产生的磁场相互抵消，从而创造出一个无磁场环境且焦距较短的物镜。较短的焦距导致低色差和高整体稳定性。结合高阶像差校正器，可以实现原子分辨率成像。此外，位于透镜周围的内置线圈可以向样品施加Z方向的磁场。

| 双校正器系统

JEM-Z200MF在照明侧和成像侧均配置了双校正器系统，这使得它能够实现高分辨率的扫描透射电子显微镜（STEM）和透射电子显微镜（TEM）成像。校正器内置了三个十二极校正器，通过调整每个十二极校正器的三倍像散强度和方向，创建了一个光学系统，该系统能够消除所有直至五阶的几何像差，包括六倍像散。